三坐標測量機是由主機、測量頭及電子電器系統(tǒng)三個主要部分組成。
  主機包括機座、立柱、懸臂、導軌及驅(qū)動裝置、標尺系統(tǒng)、平衡部件、工作臺及附件等部分。其中標尺系統(tǒng)更為重要，它決定測量機的精度。